半導体業界は将来的な需要が見込まれることから、今後さらに伸長していくとみられており、半導体プロセスの進化と共に新たな材料・部品へのニーズは高まりを見せ、参入を目指す材料・部品メーカーは増えており、日々、研究開発が行われています。
新材料の開発では、材料そのものの物性評価のみならず、使用目的や環境により要求される性能が異なります。各種薬品やガスによる耐性や材料に含まれる無機、有機成分が溶出しないか、加工部品においてはパーティクルが発生しないか等、コンタミネーションの評価も重要です。
新材料開発のお悩み
新材料開発が活発になるにつれ、上記のようなお客様のお悩みに伴い、材料評価のご依頼を多くいただいております。
長年 半導体工場で培った超微量分析技術により、一連の分析評価を実施して、皆様の問題解決を支援致します。
一連の分析評価を承ります
材料や用途によって変わりますが、材料評価には主に「耐薬品性試験」「金属溶出試験」「TOC測定(全有機炭素測定)」「液中パーティクル測定」などがございます。
耐薬品性試験
無機・有機各種の薬液における半導体プロセスに応じた薬液条件での評価が可能です。
薬液浸漬前後の重量変化率、サンプル表面の形状や色変化、浸漬液の色変化等お客様の評価項目に応じカスタマイズが可能です。
金属溶出試験
TOC(全有機体炭素)測定
最新版SEMI F57-0622をはじめ、各種規格に準拠した、イオン・金属溶出試験やＴＯＣ（全有機体炭素）測定を実施いたします。
液中パーティクル測定
最新の液中パーティクルカウンターを導入致しました。
詳しい試験方法等の詳細はお気軽にお問い合わせください。
- 測定レンジ：0.03μm～0.5μｍ
- 純水に加えて薬液の測定が可能です。
※測定方法については、お客様のご要望に沿って検討させていただきます。
半導体分野にとても強い分析会社です
弊社連携の分析会社は半導体生産会社の研究開発部門から独立する形で誕生しました。
そのため、半導体業界に精通しており、分析・調査の技術に関する豊富なノウハウがございます！
材料開発で課題がございましたら、ぜひお気軽にご相談ください。