真空チャンバー内での真空度計測が可能！

真空チャンバーなど真空環境内の圧力測定は従来、チャンバーの外壁か真空ポンプ付近での測定しかできませんでしたが、本システムでは測定したい箇所をピンポイントで測定できます。

本システムの真空計は熱伝導方式ですが、この方式は

・比較的安価

・取扱いが容易

・大気圧でも壊れない

といった特徴があります。

しかしこの方式は「大きなセンサー部」「振動・衝撃に弱い」「測定領域が狭い」という欠点がありましたが、

この欠点を克服することによりピンポイントでの測定を可能にしました。

今まで測定できなかったところを測定できる

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今まで見えなかったところが見られる

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装置、設備を最適な状態に改善

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高品質化、品質保証、歩留まり向上、新製品開発に貢献！

・半導体装置メーカー　：　多層構造の真空成膜装置の各層の圧力分布の測定

・成形装置メーカー：　真空成形の金型内の圧力分布の測定

・自動車メーカー　：　エンジン部品にコーティングする為のプラズマCVD装置で試料設置個所、壁、排気付近等に圧力差が生じていないか確認するための測定

・材料（原料）メーカー　：　実験用の超小型の容器内の圧力を把握し、量産装置の開発につなげるための測定

・コンテナメーカー　：　真空断熱層内の圧力分布を把握し性能を向上させる為の測定

・センサー開発メーカー　：　従来の真空計が取り付けられない小さな箇所（センサ内部）の真空度の測定

・顕微鏡メーカー　：　試料BOX内と内部配管の真空度の測定

この他フィルム、ハードディスク、太陽電池、航空。・宇宙、医療機器、情報機器、食品機器、分析・科学機器などあらゆる分野で従来の真空計では測定できなかったところを測定します。