世界の半導体デバイス製造はウェーハサイズも大型化し、微細化も進んでいるものの、8インチ以下のラインの工場の稼働率も非常に高いようです。そのようなレガシープロセスにおいては必ずしも最先端で高額な装置や部材は必要というわけではありません。

まだまだ健在!半導体デバイス製造における8インチ以下のライン

半導体デバイス製造の世界では、ウェーハサイズの大型化と微細化が進む中で、8インチ以下のラインもなお重要な役割を果たしています

本記事では、レガシープロセスにおいて必要な装置や部材の一部を紹介します。

最先端で高額な装置や部材でなくとも活躍できる装置があります!

パーティクルの管理に!安価で高性能な「ウェーハ表面検査装置」

ウェーハ表面検査装置「WM-7S」

ウェーハ表面検査装置(ゴミ検出装置)「WM-7S」はウェーハサイズ200mm以下では最も安価でなお高性能の機種となっています。

パーティクルの管理はおこないたいが多くの装置は高性能すぎて高額すぎると言うお話しをよく耳にします。

本装置は安価ですが80nm@Bareの感度を持っていますのでレガシープロセスで十分お使い頂けるスペックです。

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ウェーハの洗浄後の乾燥は「スピンドライヤー」

スピンドライヤー(4キャリア対抗式)
スピンドライヤー(4キャリア対抗式)

スピンドライヤー(シングルキャリア式)
スピンドライヤー(シングルキャリア式)

ウェーハの洗浄後の乾燥に使われている「スピンドライヤー」は、8インチ以下のラインでまだまだ多くの台数が活躍しています。

弊社の提供するスピンドライヤーは2インチ等の小口径から8インチまでのウェーハサイズに対応し、量産向け「4キャリア対抗式」から研究開発用「シングルキャリア式」まで様々なお客様のご希望にお応えできますのでまさに、レガシープロセスにはピッタリの装置になっています。

昨今は古くなったスピンドライヤーを新たに買い換えるお客様も増えてきています。 

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まだまだ現役の横型の拡散炉、CVD炉には「石英ガラス」

石英槽
石英槽

石英リング
石英リング

いろいろな石英ボート
いろいろな石英ボート

横型の拡散炉やCVD炉はまだまだ現役で活躍しています。そんな炉で使われている炉心管やボート、保護管などの様々な治工具には石英ガラスが使われています。

また、ドライエッチャー用の部材やWET洗浄用の石英槽など様々な工程でも石英ガラスは使われています。

弊社で提供する石英ガラスはレガシープロセスのどの工程でもお使いいただいている実績がございますので安心してご使用頂けます。

また修理や改造についても可能な限り対応させていただいておりますのでお気軽にお問合せ下さい。

半導体製造についてのお悩み、ご相談ください!

今回は、半導体デバイス製造工場のレガシープロセスに使用されるウェーハ表面検査装置やスピンドライヤー、そして多くの工程で使われる石英ガラス製品を紹介しました。

半導体デバイス製造においてお困りのことがございましたらお気軽にご相談ください。

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