フッ酸は半導体で必須の薬液ですが、非常に危険で取り扱いの難しい薬液です。

フッ酸のGHSラベル表記

(フッ酸のGHSラベル表記)

半導体のプロセスにおいてフッ酸は酸化膜のエッチングや洗浄薬液として無くてはならない薬液の一種です。

しかし、非常に強い酸化力があり皮膚や粘膜に付着したり、その蒸気を吸い込むと局所に強い痛みを伴う腐食を引き起こし、全身に影響が及び死亡に至ることさえある毒性が非常に高い危険有害物質です。

また、廃液するのにも専門の廃棄物処理業者に依頼するなど簡単には廃棄できない薬液です


半導体の装置や部品には、フッ酸で腐食しない材質の材料が求められていますが、自社では評価できないというお悩みも・・・

フッ酸を使った材質評価

フッ酸を供給する配管やOリング等のシールド材その他フッ酸が直接触れる部分の材質には、フッ酸に対する耐薬品性や材質から金属イオン等のコンタミ溶出のないことが求められます。

半導体プロセスが日々進化するに従い、より高濃度、高温で耐薬性とコンタミレスな材質が求められてきていますが、危険有害物質でもあり事故や災害あるいは労働安全衛生の観点から、多くの企業では自社でフッ酸を使用した材質評価ができないという話を聞きます。


フッ酸を使用しての各種材料評価、お任せください!

弊社連携の分析会社は、半導体経験があり薬品の取り扱いを熟知した技術者が揃っており、過去からデバイスメーカーとも実績のある分析会社だからこそ安全にフッ酸を取り扱うことができ、材料評価が可能です


薬液浸漬事例

薬液を使用した分析サービス例
  • 濃度50%のフッ酸を100℃に加熱した状態で1ヵ月以上連続での耐薬品性試験
  • ウェーハ洗浄に用いられるSPM液(硫酸過酸化水素水)を200℃以上に加熱した状態での耐薬品性試験
  • 無機・有機各種の薬液における半導体プロセスに応じた薬液条件での材料評価

フッ酸や危険有害薬液での材料評価でお困りの場合は、ぜひお気軽にご相談ください!

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