（フッ酸のGHSラベル表記）

半導体のプロセスにおいてフッ酸は酸化膜のエッチングや洗浄薬液として無くてはならない薬液の一種です。

しかし、非常に強い酸化力があり皮膚や粘膜に付着したり、その蒸気を吸い込むと局所に強い痛みを伴う腐食を引き起こし、全身に影響が及び死亡に至ることさえある毒性が非常に高い危険有害物質です。

また、廃液するのにも専門の廃棄物処理業者に依頼するなど簡単には廃棄できない薬液です。

フッ酸を供給する配管やOリング等のシールド材その他フッ酸が直接触れる部分の材質には、フッ酸に対する耐薬品性や材質から金属イオン等のコンタミ溶出のないことが求められます。

半導体プロセスが日々進化するに従い、より高濃度、高温で耐薬性とコンタミレスな材質が求められてきていますが、危険有害物質でもあり事故や災害あるいは労働安全衛生の観点から、多くの企業では自社でフッ酸を使用した材質評価ができないという話を聞きます。

弊社連携の分析会社は、半導体経験があり薬品の取り扱いを熟知した技術者が揃っており、過去からデバイスメーカーとも実績のある分析会社だからこそ安全にフッ酸を取り扱うことができ、材料評価が可能です。

フッ酸や危険有害薬液での材料評価でお困りの場合は、ぜひお気軽にご相談ください！