材料開発においては、材質の化学的特性や物理的特性、使用時の安全性や信頼性等を評価する必要がありますが、特に半導体の分野では、製造装置部品の材質から金属イオンや有機成分が染み出すことで製品に汚染が生じさせないようにする必要があります。
ppbレベルの汚染物質でも製品の歩留まりや信頼性に影響を及ぼすため、その評価分析は非常に重要となります。
【社内評価の限界】半導体・先端材料開発におけるお悩み
上記のように半導体製造や先端材料開発の現場では、目に見えない微量な汚染物質との戦いが日々繰り返されています。
材質から染み出す金属イオンや有機成分は、製品の性能低下の原因となります。特に半導体分野では、pptレベルという極めて微量の汚染物質でさえ、製品の歩留まりに影響を与えることがあります。
上記のようなお悩み、「溶出試験サービス」が解決します！
当社はお客様のこのような課題を解決するために、最先端の分析技術と豊富な経験を持つ分析会社と提携しています。
半導体グレードの高精度な分析から、規制が強化されているPFAS分析まで、お客様のニーズに合わせた最適な試験プランをご提案させていただきます。
半導体分野に強みを持つ分析会社が試験を実施します
半導体向けの高精度分析に対応可能
最新版 SEMI F57-0622 をはじめ、各種規格に準拠した試験を実施いたします。
- イオン・金属溶出試験
- TOC（全有機体炭素）測定
お客様のニーズに合わせたカスタマイズ試験
超純水や酸・アルカリなどを用いて、お客様のご要望に合わせた条件（分析項目・溶出時間・温度など）で、試験を行うことが可能です。
PFASの溶出試験も可能です
有機フッ素の使用規制に向けての動きがある中、フッ素樹脂材料を使用する場合は耐薬性、耐熱性、摩耗性等の観点からフッ素樹脂からのPFAS溶出量を捉えておく必要があります。
フッ素樹脂からの溶出PFASは、材質だけでなく部品の成形・加工時の熱履歴などにも影響してきます。さらに、環境面への問題に加えて、ウェハ上に凝集しパーティクルへの影響も示唆されております。
各種部材からのPFAS溶出試験
- 測定項目：PFOS、PFOA、PFHxS
- 分析方法：CEN/TS 15968準拠（欧州規格）、又はお客様にカスタマイズした方法
- 定量下限：5ppb
- 測定対象：製品一般
- 材料中のPFAS測定だけではなく、環境水中・排ガス中のPFAS測定も実施可能
測定対象例
材料開発等における評価分析にお困りの方、ご相談ください。
製品の品質と安全性を確保し、競争力を高めるためには、目に見えない溶出リスクを正確に把握し、対策を講じることが不可欠です。
「どのような試験が可能か具体的に知りたい」
「自社のケースではどのくらいの費用と期間がかかる？」
「PFAS分析について、もっと詳しく聞きたい」
どんな些細なことでも構いません。まずはお気軽にお問い合わせください。
経験豊富な専門スタッフが、お客様の課題解決に向けて、最適な分析プランをご提案させていただきます！
