1.再設定が面倒

検査装置やその周辺設備を新しく購入すると、装置関連のシステムを再設定しなければいけません。しかしシステムの再設定を行うと、レシピや検査条件の変更が伴い、今まで蓄積した検査データが活用できなくなる危険性を伴います。そのため、検査装置がいくら古くなったとしても、新しい装置を購入するのではなく既存装置の修理を希望する方が多くいらっしゃいます。

 

2.メーカーが生産終了をしている

半導体工場では20年以上前の検査装置がいまなお数多く稼働しています。意外と多いケースは、メーカーが既に生産を終了している、サポート終了しているといったケースです。特に既存の装置の後継品を購入しようとした場合に、すでにメーカーが生産を終了しているため、部品取りするなど仕方なく自社で既存品を修理しながら使っているというケースは多くあります。

 

突然の故障

・制御PCが故障して装置が動かない。
・バックアップ(スペア)が無い。
・既にメーカーの生産サポートが終了している。

 

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