PFA（Perfluoroalkoxy alkanes）は、半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たす材料のひとつです。今回はPFAチューブの特性と用途、納期問題について説明します。
目次
半導体製造に欠かせない「PFA」とは？
PFAは「Perfluoroalkoxy alkanes」（パーフルオロアルコキシアルカン）を指し、フッ素樹脂の一種です。複雑な形状でも溶融成形ができるという点が特長です。
そのため、半導体・化学・電子機械・医療分野など、幅広い分野で活躍していますが、今回は半導体用途にフォーカスした特性をご紹介します！
PFAの特性とPFA製チューブやバルブが使用される工程
耐薬品性
PFAは、強い酸やアルカリなどの化学薬品に対して非常に高い耐薬品性を持っています。そのため、半導体製造における薬品輸送に適しておりPFA製のチューブやバルブが多用されます。
耐熱性
PFA製のチューブは高温に耐えることができるため、半導体製造における高温プロセスや薬品を使用するラインで使用されます。
非粘着性
PFAの非粘着性により、チューブ内に薬品や粒子が付着しにくくなり、クリーンなプロセス環境を維持できます。
低浸透性
PFAは、液体やガスの浸透性が低いため、薬品やガスの漏れを防ぎ、プロセスの安全性を高めます。
クリーンルーム適合
PFAチューブはクリーンルーム環境に適しており、発塵や汚染を最小限に抑えることができます。
柔軟性と耐摩耗性
PFAチューブは柔軟性があり、狭い空間での配管や設置が容易です。また、耐摩耗性も高く、長期間の使用に耐えます。
半導体製造に関する部材の「長納期化」問題
ここ数年、半導体製造に関する部材が長納期化する問題が発生していますが、ものによっては徐々に以前のような納期に落ち着く部材も増えてきました。
しかし、PFAは依然として材料そのものの需給関係がひっ迫しており、PFA製のチューブやバルブについてメーカーに納期を照会しても、回答不可能という場合が少なくありません。
それでもユーザーサイドとしては、いつ順番が回ってくるかわからない長い列に並ばないといつになっても部材が手に届かないこととなるため、やむなく列に並ぶ、あるいは不安から必要量以上に注文を出すためさらに納期が延びていくという悪循環に陥っています。
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