石英ガラスの種類

石英ガラスにはいくつかの材質があります。今回はそれら材質の特徴について紹介します。

目次

  1. 石英ガラスは天然(溶融)石英と合成石英に分けられます
  2. 天然石英はさらに酸水素溶融品と電気溶融品の2つに分けられます
  3. 石英ガラスの材質も日々進化・多様化

石英ガラスは天然(溶融)石英と合成石英に分けられます

石英ガラスには大きく、天然(溶融)石英合成石英の2つに分けられます。

  1. 天然石英 : 天然の水晶を原料に、それを精製した石英粉から作られたもの
  2. 合成石英 : 四塩化珪素を原料に化学的に合成されたもの

一般的に石英ガラスというと天然石英を指し、理化学品半導体製造工程で使われる多くは天然石英です。

合成石英は非常に高純度光学的な特徴を有する為、半導体関連のほか光ファイバー、レーザー、マスク素材等に主に用いられています。

石英_20220610

天然石英はさらに酸水素溶融品と電気溶融品の2つに分けられます

天然石英_2

天然石英は製造方法により大きく2つに分けられます。酸水素溶融品電気溶融品です。これは原料を溶融する際の溶融方法が酸水素による溶融か電気による溶融かによります。

どちらの製品も半導体の製造プロセスで使われており、広く汎用品としても使われています。

両者の違いは「電気溶融品」のほうがOH基(水分)の含有量が少ない(酸水素溶融約200ppm、電気溶融品約1ppm)ため粘性が高く耐熱性に優れており、より高温での使用に向いています。

石英ガラスの材質も日々進化・多様化

石英ガラスは使われる用途が広く、その要求は日々高まってきています。

様々な要求に合わせ材質も細かく分かれて多様化してきています。天然石英においても金属不純物(特にアルカリ金属)を極力少なくすることが求められるため「低アルカリ品」があります。

また、シリコンウエハーや液晶工程の大型化が進む中では石英ガラスも大型化しなくてはならず、大型板製品向けの材質も必要になってきました。

合成石英についても一般的には耐熱性は天然石英に劣りますが、天然石英並みの耐熱性を持った合成石英も開発され、高純度耐熱性の両方を合わせ持った製品も開発されています。

石英ガラスとひとくちにいってもさまざまな材質のものがあります。
お使いいただく用途をお教えいただければその用途に合った材質を選定いたします。
また、図面や簡単なポンチ絵を頂ければお見積りできますのでぜひお問合せ下さい!


>>石英加工に関する相談なら「石英加工.com」にお任せ!

相談してみる
関連した製品事例

石英ガラスを中心とした、ガラスの知識

ガラスは個人の生活においても身近な材料ですが、産業用でも幅広く使用されている材料です。 この記事では、産業用途でよく使用されている石英ガラスを中心に、ガラスの知識をご紹介いたします。
2021年7月6日

ご存じですか?合成石英ガラスとは

一般的に石英ガラスといえば溶融(天然)石英のことを言いますが、もう一つ合成石英ガラスと言う石英ガラスがあります。一般の溶融(天然)石英に比べ合成石英は純度が高く不純物が極端に少なく、光の透過性にも優れている石英ガラスです。
2021年7月8日

石英ガラスの加工が難しい4つの理由

加工しやすいともいわれることのある石英ガラスですが、4つの理由により加工が困難であるといえます。
2020年10月15日

石英ガラスの取扱いで気を付けたいこと

石英ガラス製品をお使いいただいているお客様へより長く、快適に、そして安全にご使用いただくための留意事項をご案内します。
2022年6月2日

くすんでしまった石英ガラスは透明にできます!フッ酸洗浄編

石英ガラスが曇ってしまった・・・熱処理等の実験を行っている方なら経験があるのではないでしょうか。そんな時は、安く・早く・環境にやさしい石英ガラスの洗浄をご検討してみてはいかがでしょうか?
2021年7月6日

石英ガラス製品 長納期化の背景

石英ガラス製品の納期が長納期となりお困りのお客様も多いかと思います。今回は、長納期化になってしまう理由とそれがなかなか解消できない理由と対策についてのお話しです。
2022年6月10日

くすんでしまった石英ガラスは透明にできます! 焼き上げ修理編

石英管(炉心管)を使っていると「失透」と言われる現象がよく発生します。この「失透」現象が発生するとそのまま使用し続けることはできませんが、すぐに廃棄する必要はありません。再び透明な状態に戻して再度使用して頂くことができます。
2023年7月11日

半導体デバイス製造工場にぴったりの検査装置、製造装置、石英部材をご紹介

世界の半導体デバイス製造はウェーハサイズも大型化し、微細化も進んでいるものの、8インチ以下のラインの工場の稼働率も非常に高いようです。そのようなレガシープロセスにおいては必ずしも最先端で高額な装置や部材は必要というわけではありません。
2023年8月3日

超微細な世界の舞台裏:半導体製造で活躍する石英ボートとは・・・

「石英ボート」は様々な用途で使われますが、今回は半導体製造工程の主に拡散工程における使用についてスポットライトを当ててみました。ちょっと奇妙な形でどう使ってどう作るのか良くわからない、そんな「石英ボート」の使われ方と作り方を中心に解説!
2023年10月12日

職人の技が光る!石英ガラス製アンプル管(試料管)の作り方

石英ガラス製品には様々な製品があり、お客様のご要望により色々な形状に加工してお使い頂いております。 そんな石英ガラス製品の中でも、大学の研究室や化学や物理等の基礎的な実験などで多く用いられる「試料管」や「アンプル管」はどのように作られているのでしょうか・・・
2023年7月5日

石英ガラスの特性と幅広い用途について分かりやすく解説!

石英ガラスは、その優れた特性と多様な用途により、製造業で広く利用されています。本記事では石英ガラスの特性と主な用途について解説します。
2023年7月21日
「こんな測定・計測したい・・・。こんな制御をしたい・・・。でも、どんな製品・機器を使ったらできるの???」
そんなR&Dやものづくりに関するあらゆるお悩みは、私たちにお任せ下さい。
業界に関する知見や様々な専門知識を持ったプロが解決いたします。