石英ガラスの種類

石英ガラスにはいくつかの材質があります。今回はそれら材質の特徴について紹介します。

目次

  1. 石英ガラスは天然(溶融)石英と合成石英に分けられます
  2. 天然石英はさらに酸水素溶融品と電気溶融品の2つに分けられます
  3. 石英ガラスの材質も日々進化・多様化

石英ガラスは天然(溶融)石英と合成石英に分けられます

石英ガラスには大きく、天然(溶融)石英合成石英の2つに分けられます。

  1. 天然石英 : 天然の水晶を原料に、それを精製した石英粉から作られたもの
  2. 合成石英 : 四塩化珪素を原料に化学的に合成されたもの

一般的に石英ガラスというと天然石英を指し、理化学品半導体製造工程で使われる多くは天然石英です。

合成石英は非常に高純度光学的な特徴を有する為、半導体関連のほか光ファイバー、レーザー、マスク素材等に主に用いられています。

石英_20220610

天然石英はさらに酸水素溶融品と電気溶融品の2つに分けられます

天然石英_2

天然石英は製造方法により大きく2つに分けられます。酸水素溶融品電気溶融品です。これは原料を溶融する際の溶融方法が酸水素による溶融か電気による溶融かによります。

どちらの製品も半導体の製造プロセスで使われており、広く汎用品としても使われています。

両者の違いは「電気溶融品」のほうがOH基(水分)の含有量が少ない(酸水素溶融約200ppm、電気溶融品約1ppm)ため粘性が高く耐熱性に優れており、より高温での使用に向いています。

石英ガラスの材質も日々進化・多様化

石英ガラスは使われる用途が広く、その要求は日々高まってきています。

様々な要求に合わせ材質も細かく分かれて多様化してきています。天然石英においても金属不純物(特にアルカリ金属)を極力少なくすることが求められるため「低アルカリ品」があります。

また、シリコンウエハーや液晶工程の大型化が進む中では石英ガラスも大型化しなくてはならず、大型板製品向けの材質も必要になってきました。

合成石英についても一般的には耐熱性は天然石英に劣りますが、天然石英並みの耐熱性を持った合成石英も開発され、高純度耐熱性の両方を合わせ持った製品も開発されています。

石英ガラスとひとくちにいってもさまざまな材質のものがあります。
お使いいただく用途をお教えいただければその用途に合った材質を選定いたします。
また、図面や簡単なポンチ絵を頂ければお見積りできますのでぜひお問合せ下さい!


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